1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
一 课题研究的背景和意义随着科技的发展,生物医疗器械、光学器件等逐渐成为研究热点,满足精度和表面质量要求的金属或半导体材料加工方法已成为当今微制造领域的迫切需求[1]。
掩膜电解加工[2]技术将具有特定图案的掩膜板覆盖在工件阳极上，利用电解加工原理在工件上加工出与掩膜类似的图案。
掩膜电解加工过程无机械力作用，不产生大量热量，加工后工件不存在残余应力和热影响层，非常适合加工薄壁金属件。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
一 待解决的问题本课题要求一种用于掩膜电解加工自吸式加工装置，通过在夹具中设置多组啮合齿轮，构成齿轮泵组，直接位于阴极上方。
当齿轮泵组工作时，电解液可由进液口进入反应区，再通过孔板阴极经齿轮泵组，由上方出液口流出。
由于齿轮泵组位于反应区上方，产生的吸引力直接作用于反应区，产物排除效率更高，装置更加简单，无需外设复杂的供液系统，具有高效能和低成本的优势。
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