1. 研究目的与意义
一、选题背景与意义（300字左右）机械设计技术的科技含量很高包括结构设计、工艺设计、其设计理论及其方案均有较高的科技要求。
目前, 随着社会的不断提高传统的机械设计技术及其方法根本无法满足现代生产实践的需要。
就像数控机床的设计、高效节能电机设计、及其汽轮机叶片结构等设计方案, 然而随着技术不断提高的需求以往的设计根本无法满足这一需求。
2. 课题关键问题和重难点
二、课题关键问题及难点（300左右字）关键问题是：1， 零件设计，根据机台设备的安装拆卸条件，设计适合安装在几台上的尺寸的零部件。
2， 零件制造工艺设计，了解底板加工特点，精度和技术要求，设计对应的加工工艺方案。
3， 装配几台工艺设计，根据个丝杆、点机、防撞块、轴承、纤维开关的规格、形状和尺寸的不同设计装配工艺方案。
3. 国内外研究现状（文献综述）
三、文献综述（或调研报告）（1200字左右）1机械工艺设计概念(1)工件或者零件制造加工的步骤包括机械加工工艺流程、采用机械加工、直接改变毛坯的形状、尺寸和表面质量等方法,这种过程称为机械加工工艺过程。
例如一个普通零件的加工工艺流程是粗加工-精加工-装配-检验-包装,就是个加工的笼统的流程。
(2)机械加工工艺是在工件加工流程的基础上,改变生产对象的形状、尺寸、相对位置和性质等,使零件成为成品或半成品,加工的每个步骤,每个流程的如下:粗加工包括毛坯制造、打磨等,精加工分为车、钳工、铣床等,每个步骤都需要详细的数据,比如精确度要达到的范围,公差要达到的范围。
4. 研究方案
四、方案（设计方案、研制方案、研究方案）论证（不少于100字）1， 对零件进行分析，确定零件尺寸，精度要求及技术要求。
2， 制定零件加工工艺方案。
3， 分析机台的平整度内部空间及机台的质量要求，设计零件的装配流程，再改善流程，明确装配机台工艺流程。
5. 工作计划
五、工作计划（不少于300字）毕业设计前一学期末完成设计产品了解，收集、查阅、文献资料并准备开题报告。
第1周根据项目需求，结合实际生产，工艺流线原理，根据对半导体设备工艺步骤，分析工艺流程，了解查阅文献资料，撰写开题报告。
第2周 开题报告经指导老师批阅合格并确认后，开题报告封面用标准模板，上传至毕业设计管理系统；完成工艺流程方案设计。
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