1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
在进入21世纪以来，社会信息化和智能化的步伐正在不断加快，在人类生产和生活中，产生了很多新的事物，比如智能手机、可穿戴设备等，这使得对于柔性的电子设备的需求开始产生。
除此以外，由环境污染带来的对可再生能源的需求，比如光伏太阳能，也开始受到关注。
还有诸如柔性薄膜加热器等也有较为广泛的研究。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1、实验装置-三维微纳加工平台的搭建高精度三维自动微纳移动精度平台的设计如图下图所示。
三轴精密台用于控制X、Y、Z三个垂直方向运动的位移和速度，以确认样品台的位置，并使针尖准确的对准并接触到基板并实现柔性电极的图案化。
为了方便实时观察，在三维平台的基础上安装了倒置荧光显微镜，能够清晰的观察到针尖和基底之间是否紧密接触，并且可以连续性的观察纳米擦除的整个过程，同时在图案化的过程中，在与显微镜相连的电脑屏幕上可以实时观察到针尖的运动垂直于基底表面。
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